洁净棚有辐射多少对人体有害吗对孕妇有害吗

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2016-11-03 01:28 标签： 冰箱辐射对孕妇有害吗
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洁净室的洁净度影响因素分析及改进措施
    0引言随着我国科学技术的发展近年来电子厂房的数量在不断增加，半导体生产线的规模及技术要求也在不断提高。目前国内电子厂房的形式主要有2种，一种是上送下回的3层结构的层流洁净厂房，另一种是上送侧回的乱流洁净厂房。而第二种方式囚为建造、运行成本低，是6级、7级等较低级别的洁净厂房普遍采用的方式。本文将以某企业的上送侧回型乱流洁净厂房为例，以及其中一个洁净室的升级改造过程，对生产环境中的洁净度影响因素进行识别、分析和比较，以此来讨论这种厂房改进和提升洁净度的有效措施。1基本情况介绍本文分析的洁净厂房为半导体制造厂，因为此洁净厂房的主要功能是进行的组装、调试，考虑到厂房的承重及设备的频繁进出，此洁净厂房全部设计为上送侧回的乱流送风方式，共4个区域。本案例中，将对4个区域进行细致的数据采样，分析了影响洁净度的主要囚素，并以此找出可行的改进措施。为了方便说明，将4个洁净室标记为a&d，4个洁净室均采用了常用的ffu+dc的空气处理方式。其中a、b两房间比较相近，均为双侧回风的房问，房间长宽高也相同。c、d房问均为单侧回风的送风方式，其他基本参数也与a、b房间有些差异。4个房间的基本参数如表1所示。a房间设备布置较为密集，北侧并排放置了10台机台，南侧并排放置了7台机台。其机台排布及洁净度检测点如图1所示。b房间设备放置较为宽松，北侧并放置了5个机台，南侧并排放置了2台机台。其机台排布及洁净度监测点如图2所示。洁净室c、d均为单侧回风的房间，设备布置宽松程度也不相同。洁净室c在北侧放置了3台机台，南侧也放置了3个工位。其机台排布及洁净度检测点如图3所示。洁净室d在北侧放置了2台机台，其机台排布及洁净度检测点如图4所示。2.测试和对比分析为了更合理的分析以上4个洁净室，选取了2013年8月至10月的10次监测数据（动态监测）的平均值作为基础数据进行比较，分别监测了0.3um,0.5um,1um,3um,5um,10um的6种粒径的颗粒，并对其数据进行了对比分析。2.1洁净室a、b的对比分析图5的横坐标20是表示洁净室a的20个检测点，纵坐标是检测到的颗粒的数量。例：0.3um的曲线是表示20个检测点每点粒径〉0.3um的颗粒物总数，其他曲线的含义同理可得。由于图5中5um、10um颗粒的数据较少在图中无法清晰显示，且分布规律与0.3um~3um的分布规律不同，所以对大颗粒的分布情况单独画图表示。如图6所示。图7和图8为洁净室b的相应数据。从a、b两个参数相近的房间对比情况可以看出：1）洁净室a的3um以下的颗粒在检测点1、12达到最大，但5um以上的颗粒在检测点8、20达到最大。3um以下的颗粒分布趋势基本一致，5um、10um大颗粒的分布趋势相近但与小颗粒分布趋势不同。2）从图7、图8可以看出，洁净室b的3um以下的颗粒在检测点1、15达到最大，但5um以上的颗粒在检测点1达到最大。3um以下的颗粒分布趋势基本一致，5um、10um大颗粒的分布趋势相近但与小颗粒分布趋势不同。3）由于选取了2个多月的10周，每周采集一次数据取平均进行绘图，因此上述各图已经基本可以排除偶发性因素的影响。从图5、图7可以看出，每个房间各个检测点位的颗粒物分布情况不同，并且差异较大。4）虽然a、b两个洁净室的各项参数都很接近，但由于两个房间的机台分布密度不同，导致了不同的回风效果，所以两房间内的相同位置的亮点颗粒物检测结果也有较大差异。机台分布密度较大的a房间颗粒物浓度明显高于机台分布密度相对较小的b房间。5）机台分布密度较大的洁净室a的0．3um、0．5 um的小粒径颗粒物数量几乎是洁净室b的数量的3倍，从图6、图8可以看出， 洁净室a的5um、10 um大颗粒与洁净室b的差距不太明显。机台分布密度对0．3 um、0．5um小颗粒的影响较大，对1um以上的颗粒的影响不明显。2．2洁净室c、d的对比分析图9和图1o为洁净室c的相应数据， 图l1和图12为洁净室d的相应数据。洁净室c比洁净室d的换气次数高26％，但洁净室c的机台分布数量比洁净室d机台密度大。分析洁净室c、d的洁净度图表可以得出如下结论：1)图9、图1 1可以看出： 由于洁净问c的换气次数高，与洁净室d相比其1 lam以下小颗粒数量不但不高反而更少，但洁净室c颗粒的分布一致性不如洁净室d的颗粒分布一致性好。2)由于洁净室c的回风不畅，虽然其换气次数比洁净室d高，但其大颗粒浓度反而比洁净室d高。3)洁净室c高的换气次数在小颗粒的控制上有较好表现，对大颗粒浓度影响不大。洁净室c的回风不畅，对于5 lam、10 lam大颗粒的囤积有直接影响。4)洁净室d的设备门基本不开。而洁净室a由于生产需要设备门频繁开启，有时可达每天3次～6次，这使房间与走廊的空气形成对流，对洁净度的影响很大。2．3测试中的其他发现洁净室a、d摆放的是同…种设备，而洁净室d是单侧回风且换气次数与洁净室a相比并没有特别明显的不同，为什么洁净间d的洁净度反而比洁净室a好呢?经调查，在实际运行过程中这两个房间采取了不同的产尘源控制措施，洁净室d比洁净室a增加了一些辅助措施，包括：1)为了防止洁净鞋底携带大颗粒， 在洁净室d门口放置了防静电的布鞋套，要求所有人员进入此房间之前需要再穿一层净化布鞋套。经观察发现此措施实施后房间的大颗粒沉积状况有明显改善。2)洁净室d对于房间内人员数量有严格规定，规定此房间内人员不得超过6人，而洁净室a没有此规定。有时人员密度能达到洁净室d的3倍～5倍。经洲试，人员对于洁净度的动态测量影响非常大，在测龟洁净度时如身边有人通过，颗粒物浓度会瞬时飙升，尤其是大颗粒浓度。3)洁净室d在的日常打扫中也采用了更为严格的流程。洁净问d要求每天打扫次数不低于4次，而洁净室a则是不低于2次；洁净室d的 生沽具独立使用，不与其他同级别房间混用。3分析结果通过以上数据可以分析得出，相同条件下双侧回风的洁净室回风不畅对0．3 um、0．5 um小颗粒的影响效果比较明显，对5 um以上的大颗粒的影响效果不太明显。机台分布过于密集会严重影响洁净室的侧回风效果，回风不畅的地方会形成循环死角，造成部分点位洁净度不达标。并且整个房间的0．3 um、0．5um小粒径颗粒数量都会处于较高水平，从而造成整个房间洁净度不达标。提高洁净室的换气次数能有效减少0．3 um、0．5 um小颗粒的颗粒浓度，对大颗粒浓度影响不大。对比4个房间的数据可看出：双侧回风的洁净间其颗粒物浓度分布比单侧回风的洁净室均匀。4应对措施根据以上的结论，如果洁净室在实际运行中出现了部分点位不合格的情况，可从以下几个方面考虑改善的可能性：对于小颗粒超标问题，应将不合格点位附近的遮挡回风口的设备、仪器挪开，改变局部回风畅的情况。同时调节不合格点位附近的ffu转速，使此局部区域风速加大以抵消回风阻力大的不利影响。而对于5um、10 um大颗粒超标问题，应查找此点位附近的产尘源(物或人)并采取减少产尘源或将产尘源隔离的方式进行改善，包括对设备进行密封处理，对洁净室进行隔离处理或增加粘尘装置；而在人员上，应严格限制工作人员人数，对着装、环境 生等多个方面进行严格要求，并加强培训。
收录时间:日 17:21:07 来源: 作者:不详
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?风淋室 对人体有辐射吗？
拇指医生提醒您：该问题下为网友贡献，仅供参考。
我们公司车间入口处安装了一个风淋系统，进去要先吹风，我最近怀孕了，不知道这种风淋室对人体是否安全？有没有辐射呀？对肚子里的孩子有没有影响？
风淋室的作用： 风淋室是人员进入洁净室无尘车间所必备的净化设备，通用性强，可与所有的洁净室和洁净厂房配套使用，工作人员进入车间时，必须通过此设备，用强劲洁净的空气，由可旋转喷嘴从各个方向喷射至人身上，有效而迅速清除去附着在衣服上的灰尘、头发、发屑等杂物，它可以减少人进出洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁，可以兼起气闸室的作用，阻止外界污染和未被净化的空气进入洁净区域。杜绝工作人员将头发，灰尘、细菌带入车间，达到工作场地严格的无尘净化标准，生产出高质量的产品这是物理过程 没有辐射 不过温度要适应 不要吹感冒了 一般没有问题
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