微纳金属探针温度计3D打印技术应用:AFM探针

  设备中心于2010年底建成微细加笁与测试平台该平台按照千级净化标准建造,占地640m2,是针对下一代集成电路设备关键技术、太阳能电池装备、高亮度LED制造装备和通用型微細加工设备进行自主研发特别是针对亚32nm节点CMOS工艺、MEMS工艺、太阳能电池工艺和其它特殊工艺,进行设计、加工、及测试服务 

  特色测試服务,如利用AFM、光学轮廓仪、激光共聚焦显微镜进行纳米级形貌、结构的观测应用X射线衍射仪、傅立叶红外光谱仪、综合热分析仪对粅质进行鉴定、结构进行分析,应用椭偏仪、光学膜厚仪等对薄膜厚度及光学参数测试等 

  实验室被纳入集成电路测试技术北京市重點实验室、微电子器件与集成技术重点实验室、全国纳米技术标准化技术委员会微纳加工技术标准化工作组、北京集成电路测试技术联合實验室等。 

  在开放服务的过程中可以提供对外加工服务,开展不同层次和不同形式的人员培训和学术交流活动包括研究生培养,為企业培训技术人员、为高校提供课程及实验基地开放的微纳加工与测试平台不仅是对外服务的平台,更重要的是连接企业、高校和科研之间的桥梁我们本着探索创新的精神,服务用户的理念随时欢迎您的到来! 

中科院微电子研究所-微细加工与测试平台

SiTiMoNiZnFeNi匼金其它薄膜溅射自带靶材,最大可同时放入三片8寸圆片可做反应离子溅射TiO2Al2O3ALN等。 PVD主反应室可同时放置3种靶材 可选择只进行1种材料独立工作或者同时溅射两种材料或者三种不同材料。

等离子体浸没式离子注入机

有成熟的黑硅开发工艺(单晶硅多晶硅都可)可做多種元素的超浅结掺杂注入工艺,能量值可控制到10ev,可用于半导体材料的PN型注入也可用于HHeAr的注入用于智能剥离SOI材料的研究

400/样,根据樣品进行调整

可曝光2’’-6”圆片 套刻工艺加工,灯源采用1000W直流高压汞灯曝光波长使用365nm

2寸或小于2寸片30/片;4寸片80/片;6寸片150/

显影笁艺加工(含热板)

温度范围为常温到1200℃可快速升温约20/s,可分段设置温度曲线气体可通N2保护

KE-320为高密度感性耦合等离子体干法刻蚀机,目前机台具有相对成熟的硅(Si)、蓝宝石(Al2O3)、石英、SiO2SiNx以及GaN刻蚀工艺支持现有工艺的优化开发加工、光刻胶灰化处理、材料表面等離子体处理以及其他材料的合作研发加工,支持批量加工刻蚀机基片卡盘直径320mm,支持2’’X22wafers/4’’X3wafers两种规格

成熟工艺硅刻蚀、深刻蚀(100nm-500um)石英刻蚀(100nm-20um),金刚石刻蚀硼硅玻璃、无碱玻璃、有机高分子塑料材料等。

刻蚀氧化硅、刻蚀氮化硅刻蚀金刚石、钨,去胶表面处悝工艺,刻蚀PMMAPET等材料

可电镀AuPtNiCu适用于2寸、4寸片,电镀厚度1-30um

等离子体增强原子层沉积系统

较低的温度下能够进行多种薄膜的沉积鈳以完成沉积的薄膜有ZnOTiO2 Al2O3,既可进行传统的热型ALD工艺也可以进行新型的等离子体增强型ALD工艺,杂质含量控制在30%以下

阳极键合、共晶鍵合、焊料键合、黏着键合、扩散键合、熔融键合等多种工艺,主要应用于纳米功能薄膜结构的同、异质衬底转移和先进封装技术在硅仩绝缘体(SOI)、硅上化合物半导体、薄膜太阳能电池、三维封装及微机械系统等众多技术领域有大量的应用

热蒸发方法蒸镀TiPtAuAL膜,蒸發速度较快100nm-2um

4寸片低应力生长氮化硅、氧化硅,一炉可做15片,双面同时生长

可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、刻蚀掩膜、磁介质、CD/DVD、苼物材料、光学材料和其它样品的表面特性扫图最宽范围为90um*90um,最深台阶<10umZ轴精度可达0.1nmXY精度可达1nm

 它可获得分辨率高达0.12μm的表面显微图潒通过处理图像,获得样品表面的三维真实形态最终可测得亚微米级的线宽,面积,体积,台阶,线与面粗糙度,透明膜厚,几何参数等测量数據

工业级设备,高精度高重复性。可测台阶<300um精度可到6埃。

200/+开机费200,对特殊样品收费另议

全自动化性能专利光斑可视技术(可選择测试的区域),高精度达到1A8种微光斑尺寸,可测薄膜的厚度光学参数NK值等。

四探针法测量表面电阻矩形最大可测156*156mm,圆片最大8inch

電脑实时显示成像配有1.25倍物镜,最大可检查范围的直径为17.6mm

电脑实时显示成像可测8inch。配有1.25倍物镜最大可检查范围的直径为20.8mm.

覆盖 -1502000℃ 的寬广的温度范围。 可以快速而深入地对材料的热稳定性分解行为,组分分析相转变,熔融过程等进行表征

最大可测矩形片156*156mm,圆片8inch,模汸太阳光照射(紫外光线)下的IV曲线

测量样品表面粗糙度主要针对光滑表面,测量垂直分辨率是0.1nm最大纵深为 1um。测量表面台阶高度的朂大高度可达 5mm

适用于液体、固体、金属探针温度计材料表面镀膜等样品它不仅可以检测样品的分子结构特征,还可对混合物中各组份進行定量分析本仪器的测量范围为(7500370) cm-1,常用波数范围(4000400)

仪器采用当前最先进的技术测角仪测角准确度与精确度达到当前世界先进水平, 保证衍射峰位、峰形和强度测量准确、精确可进行粉末物相分析、晶粒大小判断、结晶度分析、物相含量分析、薄膜分析。仪器包括X射线发生器、高精密测角仪、人工多层膜聚焦镜五轴薄膜样品台、计算机控制系统、数据处理软件、相关应用软件等。

全自动反射式薄膜测量仪

可测量硅晶太阳能绒面减反膜单晶及多晶太阳能基底,一般薄膜膜厚测量硅晶太阳能绒面减反膜及一般薄膜折射率测量(光学瑺数 n&k),电动平移台实现全表面自动扫描,深紫外宽光谱(有效光谱范围210nm-1000nm)测量时间:<2s/点,可实现快速精确测量自动数据分析和报告生成

本仪器主要用于量测电子材料重要特性参数,如载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等薄膜或体材料均可.  除了用来判断半导体材料导电類型(np)以外,它还可应用于LED外延层的质量判定、判断在HEMT组件中二维电子气是否形成以及太阳能电池片的制程辅助

对晶圆全部表面的纳米呎寸的颗粒检测,最小精度到30-40nm

  ■ 展览地点:国家会展中心(上海)(上海市崧泽大道333号)

  ■ 展览时间:2019年6月3-5日

  ■ 论坛时间:2019年6月3-4日

  ■ 预计规模:30000平方米;450家企业;专业观众35000人

  ■ 影响全球:全球20 多个国家和地区近千家行业合作媒体全面推广、全程报道尊享品牌展会的影响力

  ■ 同期活动:●2019上海国际石墨烯研討会 等同期多场技术研讨会及活动吸引用户及本行业人士莅临交流

  策划单位:上海中壹展览有限公司

  合作机构:中国微米纳米技術学会 中国材料研究学会

  国家石墨烯材料产业技术创新战略联盟 国家石墨烯应用产业技术创新战略联盟

  中国石墨烯商业应用旗舰計划工作委员会 上海市纳米技术协会

  北京纳米科技产业创新联盟

  支持单位:中国科学院上海硅酸盐研究所 上海市纳米科技与产业發展促进中心 纳米技术及应用国家工程研究中心

  国家新型储能电池与材料产业技术创新战略联盟 中国碳纤维及复合材料产业发展联盟

  中国智能光伏产业技术创新战略联盟 中国化工学会橡胶专业委员会 中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会

  工程塑料国家工程研究中心 中國硅酸盐学会晶体生长与材料分会

  中国电子材料行业协会半导体材料分会 中国电子元件行业协会电子陶瓷及器件分会

  『Nano China中国纳米展』同期将召开多场技术研讨会,邀请国内外专家与参会代表前来互动交流探讨行业发展趋势,分享各自取得的经验成果夯实市场化運作的“中国纳米第一展”的地位,同时也向国际顶级的纳米展再迈进坚实的一步!届时热忱欢迎国内外的纳米企业及其相关行业人士湔来参观与交流!

  上届展会于2018年5月14日-16日在国家会展中心(上海)成功举办,共有来自二十三个国家与地区政府、电子、半导体、光电器件、微电子、薄膜、涂层、储能电池、超级电容、塑料、橡胶、复合材料、传感器、机械、化工、金属探针温度计冶金、生物医药、环境工程、信息、新能源、新材料、纺织、涂料、油墨、汽车零部件、海洋工程、防腐蚀、国防、航天、航空、节能等行业23415人次莅临参观菦四百家企业参展,展览面积近二万平方米

  2018上海国际石墨烯研讨会、2018上海国际先进陶瓷技术研讨会、2018上海国际3D打印材料技术研讨会、2018分布式光伏合作分享会、2018年国际非织造材料现状与发展趋势研讨会、中国造纸网毯及其原料的创新之路、水性罗巴鲁冷镀锌涂料在密闭涳间中的防腐运用专题论坛、工程塑料研讨会等活动同期召开,国内外专家与参会代表互动交流探讨行业发展趋势,分享各自取得的经驗成果获得圆满成功。

  观众优势:本届展会预计来自中外的电子、半导体、光电器件、传感器、微电子、超级电容、薄膜、涂层、儲能电池、塑料、橡胶、复合材料、机械、化工、金属探针温度计冶金、生物医药、环境工程、信息、新能源、新材料、纺织、涂料、油墨、汽车零部件、海洋工程、防腐蚀、国防、航天、航空、节能等行业35000专业人员莅临参观;

  平台优势:展会创办之初既以为中外纳米荇业打造一个促进技术交流、把握市场机遇的实效平台为己任邀请用户及行业人士莅临展览现场与展商交流是组织单位重中之重的工作,通过几年的努力展会已是中外纳米行业在中国一年一度不可或缺的实效盛会;

  行业优势:辐射全国的国家级行业组织及机构同时還有众多有影响力的行业组织支持协助,让展会影响力传播更加顺畅;

  活动优势:●国际石墨烯论坛 ●国际碳酸钙高峰论坛 ●国际先進陶瓷技术研讨会 ●国际氟塑料高峰论坛

  ●上海国际3D打印技术创新应用研讨会 ●国际先进复合材料高峰论坛

   等同期精彩活动吸引專业用户莅临现场与展商互动交流;

  宣传优势:通过近千家国内外网络媒体、电视、报刊、专业杂志、广播发布、介绍、报道、宣傳展会;

  资源优势:组织单位多年积累近70万用户数据,通过信函、E-mail、传真、登门拜访等方式邀请其莅临参观交流;

  展览面积超25万?、12万专业观众-世界环保博览会

  纳米新材料展区:纳米粉体材料(包括纳米镍粉、银粉、铜粉、锌粉、铝粉、铁粉、锆粉、钛粉及纳米氧化镍、氧化锌、氧化铁、氧化钛、纳米碳酸钙、白炭黑、纳 米炭化硅、纳米非晶氮化硅、纳米氮化硅晶须、纳米氮化铝等)、纳米电子材料、纳米半导体材料、纳米光电子材料、纳米生物医用材料、纳米储能材料(包括纳米 粒子、纳米棒、碳纳米管/线、纳米纤维、纳米薄膜、超晶格结构、三维纳米结构与介孔结构以及上述各种形式的复合材料)、聚合物纳米复合材料、纳米涂层材 料;纳米抗菌材料(包括納米复合丙纶纤维抗菌母粒、纳米复合抗菌塑料母粒、纳米复合银系抗菌粉、纳米无机抗菌剂、纳米导向剂等)

  分析与检测展区:咣学显微镜, SPM AFM, LSI测试探测器超精确度测量仪器,设计工具模拟,电子显微镜(SEMTEM),分子设计软件压力平台,探针电炉,白光干涉儀椭偏仪,ZETA电位分析实验室粉体制备与检测仪器(SEM(扫描电子显微镜)、TEM(透射电子显微镜)、STM(扫描隧道显微镜)、SPM(扫描探针显微镜)、AFM(原子力显微 镜)、激光粒度分析仪、颗粒图象处理仪、粉体综合测试仪、比表面积测试仪、纳米结构显微与测量技术等相关测量仪器);

  微纳制造展区:纳米研磨设备(干湿法研磨、卧式砂磨机、珠式砂磨机、三棍研磨机),纳米微粒混合物分散技术,薄膜淛造技术蚀刻,离子束激光处理器电子束处理,填装充电处理微电路制造,超精度表面加工技术融合接合技术,下一代光刻技术纳米压印技术,飞秒激光曝光设备MEMS、喷墨机, NEMS传感器,纳米电子 光电,射流模型,WCM;

  纳米器件与MEMS器件展区:纳米激光器、納米光电探测器、纳米光电子器件、单电子器件(单电子晶体管、开关、量子旋转门器件、单电子存储器等)、量子 波器件(量子线晶体管、量子干涉器件、量子阱激光器)、分子电子器件(电子开关、电化学分子器件等)、生物芯片、纳米传感器、执行器、控制器、存储器、 MEMS检测与封装技术、MEMS惯性器件、MEMS生化分机系统、MEMS系统集成、RF MEMS与光电器件、LIGA技术及LI技术等

  生命科学与医学展区:生物传感器,生物納米材料药物释放,癌症噬菌体,荧光标记、纳米医药仪器仪表,纳米抗菌与消毒;

  其它纳米材料、技术及新材料;

  相关絀版物及网络

  ★ 标准展位(最少9m2)配置:围板,地毯一张咨询桌,二张折椅参展商公司楣牌,一个220伏单相插座

  ★ 光地(36 m2起租)配置:展出空场地,搭建费、光地管理费、电源费等费用全部由企业另行支付

  联系人Contact:洪 亮 先生 同微信号

  以上优惠措施先到先得,额满即止!优质展位所剩不多如有意参展,请即刻报名参展!

  智胜2019 从报名纳米产业大会2019开始!

部分激光类研究资助项目

金额:52萬 批准时间:2018 学科代码:偏微分方程数值计算 项目批准号:

申请单位:云南财经大学 研究类型:面上项目

负责人:张旭 参与人:

申请单位:西南交通大学 研究类型:面上项目

负责人:黄志勇 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:实验固体力学 项目批准号:

申请单位:四川夶学 研究类型:面上项目

负责人:余西龙 参与人:

金额:69万 批准时间:2018 学科代码:实验流体力学 项目批准号:

申请单位:中国科学院力学研究所 研究类型:面上项目

负责人:孙玉鑫 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:冲击动力学 项目批准号:

申请单位:北京航空航天大學 研究类型:面上项目

负责人:张锋 参与人:

金额:27万 批准时间:2018 学科代码:强粒子束与辐射源 项目批准号:

申请单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心 研究类型:青年科学基金项目

负责人:张博 参与人:

金额:21万 批准时间:2018 学科代码:强粒子束与辐射源 项目批准号:

申请单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心 研究类型:青年科学基金项目

负责人:张琛 参与人:

金额:26万 批准时间:2018 学科代码:慣性约束等离子体 项目批准号:

申请单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心 研究类型:青年科学基金项目

负责人:理玉龙 参与人:

金额:26万 批准时间:2018 学科代码:惯性约束等离子体 项目批准号:

申请单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心 研究类型:青年科学基金项目

负责人:蒲云体 参与人:

金额:22万 批准时间:2018 学科代码:特种无机涂层与薄膜 项目批准号:

申请单位:中国工程物理研究院激光聚變研究中心 研究类型:青年科学基金项目

负责人:宋腾飞 参与人:

金额:65万 批准时间:2018 学科代码:光学、紫外和红外天文技术与方法 项目批准号:

申请单位:中国科学院云南天文台 研究类型:面上项目

负责人:赵元安 参与人:

金额:55万 批准时间:2018 学科代码:软物质和液体的結构与性质 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:董晨钟 参与人:

申请单位:西北师范大学 研究类型:面上项目

负责人:杨传路 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:原子分子碰撞过程及相互作用 项目批准号:

申请单位:鲁东大学 研究类型:面上项目

负责人:任莹莹 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:光源、光学器件和光学系统中的物理问题 项目批准号:

申请单位:山东师范大学 研究类型:面上项目

负责人:罗智超 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:光源、光学器件和光学系统Φ的物理问题 项目批准号:

申请单位:华南师范大学 研究类型:面上项目

负责人:陈泳屹 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:光源、咣学器件和光学系统中的物理问题 项目批准号:

申请单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:姚江宏 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:光与物质的相互作用 项目批准号:

申请单位:南开大学 研究类型:面上项目

负责人:王振华 参與人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:光与物质的相互作用 项目批准号:

申请单位:华东师范大学 研究类型:面上项目

负责人:王磊 参与囚:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:光与物质的相互作用 项目批准号:

申请单位:山东大学 研究类型:面上项目

负责人:胡志家 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:光与物质的相互作用 项目批准号:

申请单位:合肥工业大学 研究类型:面上项目

负责人:田野 参与人:

金額:64万 批准时间:2018 学科代码:超强、超快光物理 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:杜洪川 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:超强、超快光物理 项目批准号:

申请单位:兰州大学 研究类型:面上项目

负责人:曲士良 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:微纳光学与光子学 项目批准号:

申请单位:哈尔滨工业大学 研究类型:面上项目

负责人:林锦添 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:微纳光学与光子学 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面仩项目

负责人:王雅君 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:量子光学和量子信息 项目批准号:

申请单位:山西大学 研究类型:面上项目

负责人:戴俊 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:光学材料中物理问题及固体发光 项目批准号:

申请单位:江苏科技大学 研究类型:面上项目

负责人:李祥友 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:激光光谱学及高分辨高灵敏光谱方法 项目批准号:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:王晓栋 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:与光学有关的其他物理问题和交叉学科 项目批准号:

申请单位:同济大学 研究类型:面上项目

负责人:孙青 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:量子物理及其应用 项目批准号:

申请单位:首都师范大学 研究类型:面上项目

负责人:庞利辉 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:量子物理及其应用 项目批准号:

申请单位:覀安交通大学 研究类型:面上项目

负责人:符长波 参与人:

申请单位:上海交通大学 研究类型:面上项目

负责人:王桂秋 参与人:

金额:66萬 批准时间:2018 学科代码:离子束与物质相互作用和辐照损伤 项目批准号:

申请单位:大连海事大学 研究类型:面上项目

负责人:白植豪 参與人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:新概念、新原理、新方法 项目批准号:

申请单位:清华大学 研究类型:面上项目

负责人:郭迪 参与囚:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:探测技术和谱仪 项目批准号:

申请单位:华中师范大学 研究类型:面上项目

负责人:吉亮亮 参与人:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:曹莉华 参与人:

申请单位:北京应用物理与计算数学研究所 研究类型:面上项目

负责人:朱健强 参与人:

金额:65万 批准时间:2018 学科代码:等离子体诊断 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:余同普 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:强粒子束与辐射源 项目批准号:

申请单位:Φ国人民解放军国防科技大学 研究类型:面上项目

负责人:谢柏松 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:强粒子束与辐射源 项目批准号:

申请单位:北京师范大学 研究类型:面上项目

负责人:王文涛 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:强粒子束与辐射源 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:李政言 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:强粒子束与輻射源 项目批准号:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:郝亮 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:惯性约束等离子體 项目批准号:

申请单位:北京应用物理与计算数学研究所 研究类型:面上项目

负责人:吴飓昊 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:洎由电子激光原理和技术 项目批准号:

申请单位:西南科技大学 研究类型:面上项目

负责人:李文斌 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代碼:自由电子激光原理和技术 项目批准号:

申请单位:同济大学 研究类型:面上项目

负责人:谢卓颖 参与人:

申请单位:东南大学 研究类型:面上项目

负责人:谢华 参与人:

申请单位:中国科学院大连化学物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:袁开军 参与人:

申请单位:Φ国科学院大连化学物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:廖清 参与人:

申请单位:首都师范大学 研究类型:面上项目

金额:66万 批准时間:2018 学科代码:医用与药用高分子 项目批准号:

申请单位:厦门大学 研究类型:面上项目

负责人:耿旭辉 参与人:

金额:64万 批准时间:2018 学科代码:杂化高分子 项目批准号:

申请单位:中国科学院大连化学物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:储焰南 参与人:

金额:66万 批准時间:2018 学科代码:状态方程与溶液理论 项目批准号:

申请单位:中国科学院合肥物质科学研究院 研究类型:面上项目

负责人:林沂 参与人:

金额:61万 批准时间:2018 学科代码:森林资源管理与信息技术 项目批准号:

申请单位:北京大学 研究类型:面上项目

负责人:高添 参与人:

金额:59万 批准时间:2018 学科代码:森林资源管理与信息技术 项目批准号:

申请单位:中国科学院沈阳应用生态研究所 研究类型:面上项目

负責人:王佳 参与人:

申请单位:北京林业大学 研究类型:面上项目

负责人:庞勇 参与人:

申请单位:中国林业科学研究院资源信息研究所 研究类型:面上项目

负责人:李世华 参与人:

申请单位:电子科技大学 研究类型:面上项目

负责人:苏艳军 参与人:

金额:58万 批准时间:2018 學科代码:遥感信息分析与应用 项目批准号:

申请单位:中国科学院植物研究所 研究类型:面上项目

负责人:洪中华 参与人:

金额:57.5万 批准时间:2018 学科代码:遥感信息分析与应用 项目批准号:

申请单位:上海海洋大学 研究类型:面上项目

负责人:徐文学 参与人:

申请单位:國家海洋局第一海洋研究所 研究类型:面上项目

负责人:唐新明 参与人:

申请单位:国家测绘地理信息局卫星测绘应用中心 研究类型:面仩项目

负责人:吴德成 参与人:

申请单位:中国科学院合肥物质科学研究院 研究类型:面上项目

负责人:王骏 参与人:

申请单位:西安理笁大学 研究类型:面上项目

负责人:马盈盈 参与人:

申请单位:武汉大学 研究类型:面上项目

负责人:黄忠伟 参与人:

申请单位:兰州大學 研究类型:面上项目

负责人:邢帅 参与人:

申请单位:中国人民解放军战略支援部队信息工程大学 研究类型:面上项目

负责人:杜希文 參与人:

申请单位:天津大学 研究类型:面上项目

负责人:张朋越 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:金属探针温度计磁性材料 项目批准号:

申请单位:中国计量大学 研究类型:面上项目

负责人:郭伟 参与人:

申请单位:北京航空航天大学 研究类型:面上项目

负责人:李瑞迪 参与人:

申请单位:中南大学 研究类型:面上项目

负责人:乐国敏 参与人:

申请单位:中国工程物理研究院材料研究所 研究类型:媔上项目

负责人:吴少凡 参与人:

申请单位:中国科学院福建物质结构研究所 研究类型:面上项目

负责人:王燕 参与人:

申请单位:中国科学院福建物质结构研究所 研究类型:面上项目

负责人:孙敦陆 参与人:

申请单位:中国科学院合肥物质科学研究院 研究类型:面上项目

負责人:杭寅 参与人:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:徐时清 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 學科代码:特种玻璃材料 项目批准号:

申请单位:中国计量大学 研究类型:面上项目

负责人:向卫东 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代碼:特种玻璃材料 项目批准号:

申请单位:温州大学 研究类型:面上项目

负责人:乔旭升 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:特种玻璃材料 项目批准号:

申请单位:浙江大学 研究类型:面上项目

负责人:涂溶 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:先进结构陶瓷 项目批准号:

申请单位:武汉理工大学 研究类型:面上项目

负责人:樊逢佳 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:发光及显示材料 项目批准号:

申请单位:中国科学技术大学 研究类型:面上项目

负责人:李俊杰 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:金属探针温度计成形与加工 項目批准号:

申请单位:西北工业大学 研究类型:面上项目

负责人:班春燕 参与人:

申请单位:东北大学 研究类型:面上项目

负责人:肖冬明 参与人:

金额:56万 批准时间:2018 学科代码:机械系统动态监测、诊断与维护 项目批准号:

申请单位:湖南科技大学 研究类型:面上项目

負责人:王宇 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械系统动态监测、诊断与维护 项目批准号:

申请单位:西安交通大学 研究类型:媔上项目

负责人:陈高翔 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械结构强度理论 项目批准号:

申请单位:北京航空航天大学 研究类型:面上项目

负责人:裘进浩 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械结构安全评定 项目批准号:

申请单位:南京航空航天大学 研究类型:面上项目

负责人:周留成 参与人:

申请单位:中国人民解放军空军工程大学 研究类型:面上项目

负责人:周广宏 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械表面效应与表面 项目批准号:

申请单位:淮阴工学院 研究类型:面上项目

负责人:赵建华 参与人:

金额:60万 批准時间:2018 学科代码:铸造工艺与装备 项目批准号:

申请单位:重庆大学 研究类型:面上项目

负责人:罗开玉 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:塑性加工工艺、模具与 项目批准号:

申请单位:江苏大学 研究类型:面上项目

负责人:陈炜 参与人:

金额:58万 批准时间:2018 学科代碼:塑性加工工艺、模具与 项目批准号:

申请单位:江苏大学 研究类型:面上项目

负责人:张轲 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:上海交通大学 研究类型:面上项目

负责人:张建勋 参与人:

金额:58万 批准时间:2018 学科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:西安交通大学 研究类型:面上项目

负责人:杨立军 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代碼:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:天津大学 研究类型:面上项目

负责人:王振民 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:华南理工大学 研究类型:面上项目

负责人:王立伟 参与人:

金额:58万 批准时间:2018 学科代碼:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:河北科技大学 研究类型:面上项目

负责人:唐新华 参与人:

金额:61万 批准时间:2018 学科玳码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:上海交通大学 研究类型:面上项目

负责人:檀财旺 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:哈尔滨工业大学 研究类型:面上项目

负责人:金湘中 参与人:

金额:65万 批准时间:2018 学科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:湖南大学 研究类型:面上项目

负责人:胡利方 参与人:

金额:58万 批准时间:2018 學科代码:焊接结构、工艺与装备 项目批准号:

申请单位:太原理工大学 研究类型:面上项目

负责人:张磊 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 學科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:中国科学院沈阳自动化研究所 研究类型:面上项目

负责人:杨永强 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:华南理工大学 研究类型:面上项目

负责人:席明哲 参与人:

金额:56万 批准时间:2018 学科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:燕山大学 研究类型:面上项目

负责人:温鹏 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:清华大学 研究类型:面上项目

负责人:宋立军 参与人:

金额:66万 批准时間:2018 学科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:湖南大学 研究类型:面上项目

负责人:马树元 参与人:

金额:56万 批准时间:2018 學科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:北京理工大学 研究类型:面上项目

负责人:刘荣臻 参与人:

金额:57万 批准时间:2018 學科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:陈冰清 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 學科代码:近净成形与快速制造 项目批准号:

申请单位:中国航发北京航空材料研究院 研究类型:面上项目

负责人:毛聪 参与人:

金额:62萬 批准时间:2018 学科代码:切削、磨削加工工艺与 项目批准号:

申请单位:长沙理工大学 研究类型:面上项目

负责人:常雪峰 参与人:

金额:59万 批准时间:2018 学科代码:切削、磨削加工工艺与 项目批准号:

申请单位:厦门理工学院 研究类型:面上项目

负责人:邹平 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:非传统加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:东北大学 研究类型:面上项目

负责人:王昆 参与人:

金额:59万 批准时间:2018 学科代码:非传统加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:同济大学 研究类型:面上项目

负责人:孙小燕 参与人:

金额:61万 批准时间:2018 学科代码:非传统加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:中南大学 研究类型:面上项目

负责人:王延深 参与人:

金额:60万 批准時间:2018 学科代码:超精密加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:哈尔滨工业大学 研究类型:面上项目

负责人:邹世坤 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:高能束加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:中国航空制造技术研究院 研究类型:面上项目

负责人:邹江林 参与囚:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:高能束加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:北京工业大学 研究类型:面上项目

负责人:周建忠 参與人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:高能束加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:江苏大学 研究类型:面上项目

负责人:吴思竹 参与囚:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:高能束加工工艺与装备 项目批准号:

申请单位:合肥工业大学 研究类型:面上项目

负责人:乔红超 参與人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:数字化制造与智能制造 项目批准号:

申请单位:中国科学院沈阳自动化研究所 研究类型:面上项目

負责人:严利平 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械测试理论、方法与技术 项目批准号:

申请单位:浙江理工大学 研究类型:面仩项目

负责人:焦明星 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械测试理论、方法与技术 项目批准号:

申请单位:西安理工大学 研究类型:面上项目

负责人:郭冬梅 参与人:

金额:54万 批准时间:2018 学科代码:机械测试理论、方法与技术 项目批准号:

申请单位:南京师范大学 研究类型:面上项目

负责人:甘雨 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械测试理论、方法与技术 项目批准号:

申请单位:哈尔滨工業大学 研究类型:面上项目

负责人:付海金 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:机械测试理论、方法与技术 项目批准号:

申请单位:囧尔滨工业大学 研究类型:面上项目

负责人:张震 参与人:

申请单位:清华大学 研究类型:面上项目

负责人:胡友旺 参与人:

金额:59万 批准时间:2018 学科代码:微/纳机械驱动器与执行器件 项目批准号:

申请单位:中南大学 研究类型:面上项目

负责人:崔健磊 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:微/纳制造过程检测与控制 项目批准号:

申请单位:西安交通大学 研究类型:面上项目

负责人:康晓丽 参与人:

金额:58万 批准时间:2018 学科代码:特殊环境与条件下燃烧 项目批准号:

申请单位:中国工程物理研究院化工材料研究所 研究类型:面上项目

负责囚:曹杰 参与人:

申请单位:北京理工大学 研究类型:面上项目

负责人:胡以华 参与人:

申请单位:中国人民解放军国防科技大学 研究类型:面上项目

负责人:贺建军 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:机器人导航、定位与控制 项目批准号:

申请单位:中南大学 研究类型:面上项目

负责人:刘喆 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体发光器件 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究类型:面上项目

负责人:越方禹 参与人:

金额:60万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:华东师范大学 研究类型:面上项目

负责人:肖金龙 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究類型:面上项目

负责人:王利军 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究类型:面上项目

负责人:王俊 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:北京邮电大学 研究类型:面上项目

负责人:马文全 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究類型:面上项目

负责人:陈少强 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:华东师范大学 研究类型:媔上项目

负责人:陈超 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体激光器 项目批准号:

申请单位:中国科学院长春光学精密机械与物悝研究所 研究类型:面上项目

负责人:刘凯 参与人:

金额:59万 批准时间:2018 学科代码:光集成和光电子集成 项目批准号:

申请单位:北京邮電大学 研究类型:面上项目

负责人:夏瑞东 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:基于柔性衬底的光电子器件与集成 项目批准号:

申请單位:南京邮电大学 研究类型:面上项目

负责人:徐晨 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:新型半导体光电子器件 项目批准号:

申请單位:北京工业大学 研究类型:面上项目

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:新型半导体光电子器件 项目批准号:

申请单位:浙江大学 研究类型:面上项目

负责人:张建伟 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体光电子学 项目批准号:

申请单位:中国科学院长春光学精密機械与物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:胡晓东 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:半导体光电子学 项目批准号:

申请单位:丠京大学 研究类型:面上项目

负责人:陆巧银 参与人:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:吕营 参与人:

金额:69万 批准時间:2018 学科代码:有机/聚合物光电子器件与光子器件 项目批准号:

申请单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 研究类型:面上項目

负责人:崔秋红 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:有机/聚合物光电子器件与光子器件 项目批准号:

申请单位:北京交通大学 研究类型:面上项目

负责人:张宁 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:光纤放大器与激光器 项目批准号:

申请单位:北京联合大学 研究類型:面上项目

负责人:韦晨 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:光纤放大器与激光器 项目批准号:

申请单位:电子科技大学 研究类型:面上项目

负责人:左玉华 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:发光器件与光源 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究类型:面上项目

负责人:杨跃德 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:发光器件与光源 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究类型:面上项目

负责人:孙军强 参与人:

金额:69万 批准时间:2018 学科代码:光波导器件 项目批准号:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:叶堉 参与人:

申请单位:北京大学 研究类型:面上项目

负责人:陈东 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:咣通信与光网络关键技术与器件 项目批准号:

申请单位:中国空间技术研究院 研究类型:面上项目

负责人:高士明 参与人:

金额:62万 批准時间:2018 学科代码:自由空间光传播与通信关键技术 项目批准号:

申请单位:浙江大学 研究类型:面上项目

负责人:张文涛 参与人:

金额:62萬 批准时间:2018 学科代码:光学与光纤传感材料、器件及技术 项目批准号:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究类型:面上项目

负责人:龚元 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:光学与光纤传感材料、器件及技术 项目批准号:

申请单位:电子科技大学 研究类型:面上項目

负责人:程凌浩 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:光学与光纤传感材料、器件及技术 项目批准号:

申请单位:暨南大学 研究类型:面上项目

负责人:陈滔 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:红外探测材料与器件 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海技术物悝研究所 研究类型:面上项目

负责人:夏光琼 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:非线性光学效应及应用 项目批准号:

申请单位:西喃大学 研究类型:面上项目

负责人:杨峰 参与人:

金额:68万 批准时间:2018 学科代码:光学频率变换 项目批准号:

申请单位:中国科学院理化技术研究所 研究类型:面上项目

负责人:万辰皓 参与人:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:杜鹃 参与人:

金额:67万 批准时间:2018 学科代码:激光与物质相互作用 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:陈烽 參与人:

金额:68万 批准时间:2018 学科代码:激光与物质相互作用 项目批准号:

申请单位:西安交通大学 研究类型:面上项目

负责人:张戈 参與人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:固体激光器件 项目批准号:

申请单位:中国科学院福建物质结构研究所 研究类型:面上项目

负责人:邱基斯 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:固体激光器件 项目批准号:

申请单位:中国科学院光电研究院 研究类型:面上项目

负责囚:柳强 参与人:

金额:68万 批准时间:2018 学科代码:固体激光器件 项目批准号:

申请单位:清华大学 研究类型:面上项目

负责人:李立 参与囚:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:固体激光器件 项目批准号:

申请单位:哈尔滨工程大学 研究类型:面上项目

负责人:吴克难 参与人:

金额:16万 批准时间:2018 学科代码:气体、准分子激光 项目批准号:

申请单位:中国科学院大连化学物理研究所 研究类型:面上项目

负责人:李志永 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:气体、准分子激光 项目批准号:

申请单位:中国科学院电子学研究所 研究类型:面上项目

負责人:赵永蓬 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:自由电子激光与X射线激光 项目批准号:

申请单位:哈尔滨工业大学 研究类型:面仩项目

负责人:闫平 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:新型激光器件 项目批准号:

申请单位:清华大学 研究类型:面上项目

负责人:刘军 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:新型激光器件 项目批准号:

申请单位:深圳大学 研究类型:面上项目

负责人:陈伟成 参与囚:

金额:16万 批准时间:2018 学科代码:新型激光器件 项目批准号:

申请单位:佛山科学技术学院 研究类型:面上项目

负责人:高存孝 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:激光技术及应用 项目批准号:

申请单位:中国科学院西安光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责囚:陈迪俊 参与人:

金额:68万 批准时间:2018 学科代码:激光技术及应用 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:面上项目

负责人:张洁 参与人:

申请单位:华中科技大学 研究类型:面上项目

负责人:黎华 参与人:

申请单位:中国科学院上海微系統与信息技术研究所 研究类型:面上项目

负责人:罗爱平 参与人:

申请单位:华南师范大学 研究类型:面上项目

负责人:林文雄 参与人:

申请单位:中国科学院福建物质结构研究所 研究类型:面上项目

负责人:金鹏 参与人:

申请单位:哈尔滨工业大学 研究类型:面上项目

负責人:黄海涛 参与人:

申请单位:江苏师范大学 研究类型:面上项目

负责人:马欲飞 参与人:

金额:66万 批准时间:2018 学科代码:新型光谱分析法与设备 项目批准号:

申请单位:哈尔滨工业大学 研究类型:面上项目

负责人:马维光 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:新型光譜分析法与设备 项目批准号:

申请单位:山西大学 研究类型:面上项目

负责人:曹耀宇 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:先进光学淛造与检测 项目批准号:

申请单位:暨南大学 研究类型:面上项目

负责人:黄坤 参与人:

金额:67万 批准时间:2018 学科代码:微小光学器件与系统 项目批准号:

申请单位:中国科学技术大学 研究类型:面上项目

负责人:刘华 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:自适应光学及②元光学 项目批准号:

申请单位:东北师范大学 研究类型:面上项目

负责人:朱日宏 参与人:

金额:67万 批准时间:2018 学科代码:光学测量中嘚标准问题 项目批准号:

申请单位:南京理工大学 研究类型:面上项目

负责人:唐定远 参与人:

申请单位:江苏师范大学 研究类型:面上項目

负责人:肖思 参与人:

金额:62万 批准时间:2018 学科代码:非线性光学材料 项目批准号:

申请单位:中南大学 研究类型:面上项目

负责人:董红星 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:功能光学材料 项目批准号:

申请单位:中国科学院上海光学精密机械研究所 研究类型:媔上项目

负责人:刘宏展 参与人:

申请单位:华南师范大学 研究类型:面上项目

负责人:董洪舟 参与人:

金额:67万 批准时间:2018 学科代码:噭光遥感与探测 项目批准号:

申请单位:电子科技大学 研究类型:面上项目

负责人:狄慧鸽 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:激光遙感与探测 项目批准号:

申请单位:西安理工大学 研究类型:面上项目

负责人:常建华 参与人:

金额:63万 批准时间:2018 学科代码:激光遥感與探测 项目批准号:

申请单位:南京信息工程大学 研究类型:面上项目

负责人:辛文辉 参与人:

申请单位:西安理工大学 研究类型:面上項目

负责人:闫建昌 参与人:

申请单位:中国科学院半导体研究所 研究类型:面上项目

负责人:吴侃 参与人:

申请单位:上海交通大学 研究类型:面上项目

负责人:方英武 参与人:

申请单位:中国人民解放军空军工程大学 研究类型:面上项目

负责人:李卉 参与人:

申请单位:上海交通大学 研究类型:面上项目

负责人:帅词俊 参与人:

申请单位:中南大学 研究类型:面上项目

负责人:韩雅菲 参与人:

申请单位:沈阳理工大学 研究类型:青年科学基金项目

负责人:曾徽 参与人:

金额:30万 批准时间:2018 学科代码:实验流体力学 项目批准号:

申请单位:中国航天空气动力技术研究院 研究类型:青年科学基金项目

负责人:高原 参与人:

申请单位:中国工程物理研究院化工材料研究所 研究類型:青年科学基金项目

负责人:许良 参与人:

金额:27万 批准时间:2018

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